IＣＰ発光分析法とはアルゴンプラズマの高温中に試料を導入し，発生する光を測定する装置である。その光の波長は各元素に特有であり，光の強度は試料中の元素の量に比例することから，試料の高感度定性・定量分析が可能である。 石英トーチの中を流れてきたアルゴンガスは，トーチの先端部分に取り付けられた誘導コイルによる高周波で放電され，ドーナッツ型プラズマを形成する。プラズマの温度は6000〜8000Kで，この中に霧状で導入されたほとんどの元素は90%以上イオン化され，さらに励起されて元素固有の原子線やイオン線を発光する。プラズマが高温であるためにほとんどの元素の最適測定条件がほぼ同じで，多元素同時分析や多元素逐次分析が可能である。溶液試料中の無機成分が主な測定対象である。 ICP発光法では多くの元素について高感度分析が可能で，特に他の発光法や原子吸光法に適さないランタノイド元素についても高感度である。また，検量線の直線範囲が４桁から５桁と広く，また元素間の化学干渉やイオン干渉がほとんどないなどの特徴を持っている。

プラズマの点灯状態	発光の原理